无油活塞真空泵原理：通过容积变化，在体积大的时候吸入空气，在体积变小时(压力变大)排出空气，容积变化是靠着活动的机械部件来实现的，要求有很小的间隙并且有很高的精度，比如爪泵。依靠非常高的机械动转速度，将空气分子定向撞击而携带走，如分子泵。低温泵在接近华式零度的冷面上，几乎所有的空气分子都被冷冻捕集在表面。
无油活塞真空泵优点是不返油，对被抽空间没有油蒸汽污染，不喷油，没有油蒸汽从泵口排出，不污染环境，属于环保类产品，因此发展前景很好，被称为二十一世纪“绿色真空泵”。
无油真空泵又称干式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺杆式、涡旋式、涡轮式、爪型泵等等。
无油活塞真空泵使用过后，或者长期不用，需要记得一下方面：
1.真空泵轴每月转动一次以免冻结，并润滑轴承。
2.冲洗，抽吸管线、排放管线、风机壳和叶轮，并排净风机壳、抽吸管线和排放管线中的冲洗液。
3.排净轴承箱的油，再加注干净的油，*清洗油脂并再填充新油脂。
4.封堵吸入口和排放口，将真空泵贮存在干净、干燥地方，保护电机绕组免受潮湿，用防锈液和防蚀液喷射真空泵壳内部。
安装时泵必须安装在平坦的平面上，将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，没有条件的话，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上，确保泵不因基础不牢固而引起震动。
