无油活塞真空泵常见应用领域： 1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
3、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
4、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
怎样做好无油活塞真空泵的日常维护？
1、设备周围环境应保持清洁、干燥，通风良好。检查冷却水路是否畅通。
2、检查各润滑部位的润滑油是否符合规定。
3、操作人员必须严格按操作规程进行操作，巡回检查发现问题必须及时处理。
4、必要时可报告有关部门进行状态。
5、每班必须检查各部紧固螺栓，不得有松动现象，经常检查真空罐中的液位是否正常有效，并进行必要紧固。
6、随时检查真空表、电流表的读数是否正常。随时注意观察设备运转有无异常声响或振动。
7、机壳外部清理，请在切断电源的情况下，用干燥柔软的抹布清理机壳外部的灰尘污垢，每月至少清理一次。
8、进气过滤消音器的清洗，过滤消声器过滤棉的清洗很重要，它直接影响真空泵的流量和寿命，每月至少清洗一次，请将消声器拧下，拆开消声器端盖，取出过滤棉，用清水冲洗干净，凉干，再安装好使用。如果不能清洗干净，请更换过滤棉。
